大電流DC放電型ラインビームイオン源（LBS-120HC）
- 2023-11-29
- novelion
高速イオンビームミリング装置に適用できる大電流DC放電型の全自動ラインビームイオン源 【特長】・熱陰極を用いた大電流密度イオンビーム・最適化された磁界設計による優れたビーム分布均一性・完全自動化された …
プラズマ応用装置のカスタムメイク
- 2017-02-15
- novelion
プラズマ応用装置やイオンビーム装置をリーズナブルなご予算でカスタムメイクいたします．お客様が開発目標に到達されるまで丁寧にサポートします． 【開発例】 ・化合物薄膜用スパッタ成膜装置 ・イオンビ …
ECRラインビームイオン源（ELBS-150）
- 2016-11-11
- novelion
反応性イオンビームミリング装置に適用できる，ECR（電子サイクロトロン共鳴）放電型のラインビームイオン源です． 【特長】 ・独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム ・新開発の大型同軸導入端子 …
高出力ECRプラズマ源（EPS-120）
- 2016-11-11
- novelion
微細加工装置に適用できる，ECR（電子サイクロトロン共鳴）放電型の高出力プラズマ源です． 【特長】 ・独創的な磁石構成による大容積ＥＣＲ磁場 ・強力な冷却システムによるｋＷ級大電力動作 ・メタ …
小型ECR原子/ラジカルビーム源（ERS-35）
- 2016-11-11
- novelion
MBE等の超高真空装置にも適応できる，ECR（電子サイクロトロン共鳴）放電型の小型原子ビーム源（ラジカル源）です． 【特長】 ・完全メタルシールにより超高真空装置に対応 ・取り扱いが容易な同軸ケ …
ミリング装置用アンペア級イオン源
- 2016-11-11
- novelion
大面積イオンビームによる高速ミリング処理に適用できる大型イオン源です． ご要望に合わせオーダーメイドいたします． 【特長】 ・荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化設計 ・耐熱 …
