MBE等の超高真空装置にも適応できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型の小型原子ビーム源(ラジカル源)です.
【特長】
・完全メタルシールにより超高真空装置に対応
・取り扱いが容易な同軸ケーブル給電
・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング
・ラジカルビームの発生に優れた,バイアス電極付きの誘電体引出グリッド
【装置仕様】
・接続真空ポート規格 : ICF70
・同軸コネクタ規格 : N型
・適合マイクロ波周波数 : 2.45 GHz
・許容マイクロ波電力 : 最大 100 W
・冷却方式 : 水冷
【応用例】
・MBE装置の窒素/酸素ラジカル源
・表面クリーニングのための原子状水素源