プラズマ応用装置やイオンビーム装置をリーズナブルなご予算でカスタムメイクいたします．お客様が開発目標に到達されるまで丁寧にサポートします．
【開発例】
・化合物薄膜用スパッタ成膜装置
・イオンビームエッチング装置
・各種プラズマCVD/エッチング装置
・PVDコーティング装置および高速蒸発源
・管内面コーティング装置
・中性ラジカル処理装置
・集光型高フラックスイオンビーム加工装置
・超低エネルギー大電流イオンビーム照射装置
・汎用真空テストスタンド ほか
