反応性イオンビームミリング装置に適用できる，ECR（電子サイクロトロン共鳴）放電型のラインビームイオン源です．
【特長】
・独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム
・新開発の大型同軸導入端子（7/16型）による大電力マイクロ波駆動
・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング
・新開発の長寿命ビーム電極
【装置仕様】
・ビームサイズ ： 幅１５０ ｍｍ
・ビームエネルギー ： １００～２，０００ ｅＶ
・ビーム電流密度 ： 最大 １０ ｍＡ/ｃｍ２
・接続同軸コネクタ規格 ： ＤＩＮ ７／１６
・適合マイクロ波周波数 ： ２．４５ ＧＨｚ
・許容マイクロ波電力 ： 最大５００ Ｗ
・冷却方式 ： 水冷
【応用例】
・ＭＥＭＳ構造体の高速ミリング形成
・磁気ヘッドのミリング加工
・高周波回路のトリミング調整 など
