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ECRラインビームイオン源

 反応性イオンビームミリング装置に適用できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビームイオン源です.

【特長】
 ・独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム
 ・新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動
 ・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング
 ・新開発の長寿命ビーム電極

【装置仕様】
 ・ビームサイズ : 幅150 mm
 ・ビームエネルギー : 100~2,000 eV
 ・ビーム電流密度 : 最大 10 mA/cm2
 ・接続同軸コネクタ規格 : DIN 7/16
 ・適合マイクロ波周波数 : 2.45 GHz
 ・許容マイクロ波電力 : 最大500 W
 ・冷却方式 : 水冷

【応用例】
 ・MEMS構造体の高速ミリング形成
 ・磁気ヘッドのミリング加工
 ・高周波回路のトリミング調整 など