• TEL: +81-774-66-6387
  • Novelion Systems Co., Ltd. – Advanced plasma technology for next microfabrications!
会社名ノベリオンシステムズ株式会社
私たちのビジョン先進のプラズマ技術で微細加工の未来を拓く!
本社所在地大阪府豊能郡豊能町川尻304番地
事業所〒619-0225 京都府木津川市木津川台9丁目6番地
けいはんなオープンイノベーションセンター 105
TEL/FAX : 0774-66-6387
URLhttps://www.novelion-sys.com/
設 立2006年8月
代表取締役前野 修一
資本金6,000,000円
事業内容(1)プラズマ応用装置の開発と製造販売
・ECRラインビームイオン源(ELBSシリーズ)
・モジュール型ECRプラズマ源(EPSシリーズ)
・ミリング用低エネルギー大電流イオン源
・内径スパッタコーティング装置
・各種プラズマ応用装置の開発受託と技術コンサルティング 他

(2)特殊成膜プロセスの加工受託
・CFCダイバータブロック(核融合実験炉の炉壁)への接合界面処理 他