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  • Novelion Systems Co., Ltd. – Advanced plasma technology for next microfabrications!

 ノベリオンシステムズは,核融合プラズマ加熱装置用の大電流負イオン源技術を起源とする,技術開発型ベンチャー企業です.

 当社の掲げるビジョンは,
先進のプラズマ技術で微細加工の未来を拓く!

 近年のモノのインターネット化(IoT)による各種センサー素子や高周波回路素子の利用の広がりに伴い,圧電薄膜や磁性薄膜など,従来のシリコンプロセス装置では加工困難な材料に対応できる微細加工装置が求められています.

 当社では,このような新規の技術ニーズに応えるべく,酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています.

 現在,お客様のご期待に応えうる以下の製品を取り揃えております.

(1)反応性イオンビームミリング装置に適用できる,
  『ECRラインビームイオン源(ELBS-150)

(2)高速エッチング装置や活性プラズマ処理装置にも適用できる,
  『高出力ECRプラズマ源(EPS-120)

(3)酸/窒化薄膜形成プロセス装置にて運用実績がある,
  『小型ECR原子状ビーム源(ERS-35)』 

 これからも斬新なプラズマ装置の実現に向けて邁進いたします.ご支援の程よろしくお願い申し上げます.

ノベリオンシステムズ株式会社
代表取締役  前野 修一