• TEL: +81-774-65-3022
  • Novelion Systems Co., Ltd. – Advanced plasma technology for next microfabrications!

新着情報

プラズマ応用装置のカスタムメイク

2017-02-15 /
Products

 プラズマ応用装置やイオンビーム装置をリーズナブルなご予算でカスタムメイクいたします.お客様が開発目標に到達されるまで丁寧にサポートします. 【開発例】  ・化合物薄膜用スパッタ成膜装置  ・イオンビ …

続きを読む

SEMICON Japan 2016に出展しました!

2016-11-18 /
news

 このイベントは終了しました. ご来場ありがとうございました.  ノベリオンシステムズは,SEMICON Japan 2016 に出展しました. 【出展情報】   会期:2016年12月14日(水)⇒ …

続きを読む

基幹スタッフ求む!

2016-11-14 /
Recruitment

 当社のビジョンに共感し,事業拡大に向け共に切磋琢磨する,基幹スタッフを求めています.プラズマ応用装置,イオンビーム装置,真空装置の実務経験を持つ,現役技術者様や企業OB様からのコンタクトをお待ちして …

続きを読む

新しくなった当社のホームページをご覧ください!

2016-11-11 /
Blog

 WordPressを使って,新たにブログ調のホームページを作成しました. 参考書は「WordPress超入門」(技術評論社)1冊のみ. 実働2日間で,何とか完成しました.

続きを読む

ECRラインビームイオン源(ELBS-150)

2016-11-11 /
Products

 反応性イオンビームミリング装置に適用できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビームイオン源です. 【特長】  ・独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム  ・新開発の大型同軸導入端子 …

続きを読む

高出力ECRプラズマ源(EPS-120)

2016-11-11 /
Products

 微細加工装置に適用できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型の高出力プラズマ源です. 【特長】  ・独創的な磁石構成による大容積ECR磁場  ・強力な冷却システムによるkW級大電力動作  ・メタ …

続きを読む

小型ECR原子/ラジカルビーム源(ERS-35)

2016-11-11 /
Products

 MBE等の超高真空装置にも適応できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型の小型原子ビーム源(ラジカル源)です. 【特長】  ・完全メタルシールにより超高真空装置に対応  ・取り扱いが容易な同軸ケ …

続きを読む

ミリング装置用アンペア級イオン源

2016-11-11 /
Products

 大面積イオンビームによる高速ミリング処理に適用できる大型イオン源です. ご要望に合わせオーダーメイドいたします. 【特長】  ・荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化設計  ・耐熱 …

続きを読む