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  • Novelion Systems Co., Ltd. – Advanced plasma technology for next microfabrications!

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 大面積イオンビームによる高速ミリング処理に適用できる大型イオン源です.
ご要望に合わせオーダーメイドいたします.

【特長】
 ・荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化設計
 ・耐熱 低スパッタ率電極材料の採用により,
  低エネルギーかつアンペア級のイオンビームを発生

【装置仕様】
 ・放電方式:多極地場型 熱陰極DC放電
       (ECRプラズマ源も取付け可能)
 ・ビームサイズ:Φ350mm
 ・ビーム仕様:1keVx2A

【応用例】
 ・MEMS加工装置用イオン源

shield-z-20-zplane
Simulation of first electron orbit.

135-1

135-2
Simulation of ion beam extraction.