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ノベリオンシステムズは，SEMICON Japan 2016 に出展しました．
【出展情報】
会期：2016年12月14日（水）⇒16日（金） 10：00－17：00
会場：東京ビッグサイト（東展示場）
展示ホール： ５
当社ブース： Ｎｏ．5815
当社のブースでは，以下の製品を展示しました．
（１） 反応性イオンビームミリング装置に適用できる，
『ECRラインビームイオン源（ELBS-150）』
（２） 高速エッチング装置や活性プラズマ処理装置にも適用できる，
『高出力ECRプラズマ源（EPS-120）』
（３） 酸/窒化薄膜形成プロセス装置にて運用実績がある，
『小型ECR原子/ラジカルビーム源（ERS-35）』
