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 ノベリオンシステムズは,SEMICON Japan 2016 に出展しました.

出展情報
  会期:2016年12月14日(水)⇒16日(金) 10:00-17:00
  会場:東京ビッグサイト(東展示場)
  展示ホール: 5
  当社ブース: No.5815

 当社のブースでは,以下の製品を展示しました.
  (1) 反応性イオンビームミリング装置に適用できる,
       『ECRラインビームイオン源(ELBS-150)』
  (2) 高速エッチング装置や活性プラズマ処理装置にも適用できる,
       『高出力ECRプラズマ源(EPS-120)』
  (3) 酸/窒化薄膜形成プロセス装置にて運用実績がある,
       『小型ECR原子/ラジカルビーム源(ERS-35)』