新着情報
小型ECR原子/ラジカルビーム源（ERS-35）
MBE等の超高真空装置にも適応できる，ECR（電子サイクロトロン共鳴）放電型の小型原子ビーム源（ラジカル源）です． 【特長】 ・完全メタルシールにより超高真空装置に対応 ・取り扱いが容易な同軸ケ …
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ミリング装置用アンペア級イオン源
大面積イオンビームによる高速ミリング処理に適用できる大型イオン源です． ご要望に合わせオーダーメイドいたします． 【特長】 ・荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化設計 ・耐熱 …
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