このイベントは終了しました。ご来場ありがとうございました。
【出展情報】
会期:2023年12月13日(木)⇒15日(金) 10:00~17:00
会場:東京ビッグサイト(東展示場)
展示ホール:7
当社ブース:No.7424
当社のブースでは以下の製品をご紹介いたします.
(1) 酸/窒化薄膜形成プロセス装置にて運用実績がある,
『小型ECR原子状ビーム源(ERS-35)』
(2) 高速エッチング装置や活性プラズマ処理装置にも適用できる,
『高出力ECRプラズマ源(EPS-120)』
(3) 反応性イオンビームミリング装置に適用できる,
『ECRラインビームイオン源(ELBS-150)』
(4) 高速イオンビームミリング装置に適用できる,
『大電流DC放電型ラインビームイオン源(LBS-120HC)』