大電流DC放電型ラインビームイオン源（LBS-120HC）
- 2023-11-29
- novelion
高速イオンビームミリング装置に適用できる大電流DC放電型の全自動ラインビームイオン源 【特長】・熱陰極を用いた大電流密度イオンビーム・最適化された磁界設計による優れたビーム分布均一性・完全自動化された …
SEMICON JAPAN 2023に出展しました！
- 2023-11-29
- novelion
このイベントは終了しました。ご来場ありがとうございました。 【出展情報】 会期：２０２３年１２月１３日（木）⇒１５日（金） １０：００～１７：００ 会場：東京ビッグサイト（東展示場） 展示 …
事業所移転のお知らせ
- 2018-11-01
- novelion
当社は，2018年11月1日より下記の住所へ事業所を移転しました． 郵送宛先および固定電話/FAX番号が変更になりましたので，ご承知おきをお願いいたします． 今後とも，どうぞよろしくお願い申し上げます …
プラズマ応用装置のカスタムメイク
- 2017-02-15
- novelion
プラズマ応用装置やイオンビーム装置をリーズナブルなご予算でカスタムメイクいたします．お客様が開発目標に到達されるまで丁寧にサポートします． 【開発例】 ・化合物薄膜用スパッタ成膜装置 ・イオンビ …
SEMICON Japan 2016に出展しました！
- 2016-11-18
- novelion
このイベントは終了しました. ご来場ありがとうございました. ノベリオンシステムズは，SEMICON Japan 2016 に出展しました． 【出展情報】 会期：2016年12月14日（水）⇒ …
新しくなった当社のホームページをご覧ください！
- 2016-11-11
- novelion
WordPressを使って，新たにブログ調のホームページを作成しました． 参考書は「WordPress超入門」（技術評論社）１冊のみ． 実働２日間で，何とか完成しました．
ECRラインビームイオン源（ELBS-150）
- 2016-11-11
- novelion
反応性イオンビームミリング装置に適用できる，ECR（電子サイクロトロン共鳴）放電型のラインビームイオン源です． 【特長】 ・独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム ・新開発の大型同軸導入端子 …
高出力ECRプラズマ源（EPS-120）
- 2016-11-11
- novelion
微細加工装置に適用できる，ECR（電子サイクロトロン共鳴）放電型の高出力プラズマ源です． 【特長】 ・独創的な磁石構成による大容積ＥＣＲ磁場 ・強力な冷却システムによるｋＷ級大電力動作 ・メタ …
