• Advanced plasma technology for next microfabrications!

 プラズマ応用装置やイオンビーム装置をリーズナブルなご予算でカスタムメイクいたします.お客様が開発目標に到達されるまで丁寧にサポートします.

【開発例】
 ・化合物薄膜用スパッタ成膜装置
 ・イオンビームエッチング装置
 ・各種プラズマCVD/エッチング装置
 ・PVDコーティング装置および高速蒸発源
 ・管内面コーティング装置
 ・中性ラジカル処理装置
 ・集光型高フラックスイオンビーム加工装置
 ・超低エネルギー大電流イオンビーム照射装置
 ・汎用真空テストスタンド ほか