MBE等の超高真空装置にも適応できる，ECR（電子サイクロトロン共鳴）放電型の小型原子ビーム源（ラジカル源）です．
【特長】
・完全メタルシールにより超高真空装置に対応
・取り扱いが容易な同軸ケーブル給電
・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング
・ラジカルビームの発生に優れた，バイアス電極付きの誘電体引出グリッド
【装置仕様】
・接続真空ポート規格 ： ICF７０
・同軸コネクタ規格 ： N型
・適合マイクロ波周波数 ： ２．４５ GHｚ
・許容マイクロ波電力 ： 最大 １００ W
・冷却方式 ： 水冷
【応用例】
・MBE装置の窒素／酸素ラジカル源
・表面クリーニングのための原子状水素源
